一般潔凈等級較高之潔凈室，其廠房均設有次潔凈區(qū)，使得潔凈室中含微粒之氣流經由高架地板及潔凈室樓板進入到次潔凈區(qū)，再由抽風設備將次潔凈區(qū)之氣流抽至潔凈室天花板之濾網(wǎng)，重新過濾出潔凈且穩(wěn)定之氣流，而產生一個循環(huán)系統(tǒng)，這使得潔凈室樓板須留有足夠之回風孔，使?jié)崈羰抑畾饬鹘浻纱嘶仫L孔送到次潔凈區(qū)。